螺杆式干式真空泵的应用
螺杆式干式真空泵广应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产***SMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,移除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药品中间体,为人造组织生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等。应用范围极为广。具体如下:
具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域 能够抽除普通空气,易燃易爆气体、腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。 具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。
纺织、冶金等行业 在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵, 具体应用:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。 浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供干式真空泵的公司,有需求可以来电咨询!深圳NEODRY 15E干式真空泵中国授权代理商
评价爆裂有两个指标:可燃物质的闪点及燃点。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦,所以不会产生电火花,就没有了火源,另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到,从而杜绝爆裂!泵内既无与外界之间的轴封又无泵腔与冷却循环水回路之间的密封,因此可以抽除有害介质。绝大部分泵的故障都是由轴封处磨损造成的,而此泵每个轴只有一处无接触密封,不存在由轴封损伤带来的停机,以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里,造成真空环境及排气口污染。深圳NEODRY 15E干式真空泵中国授权代理商浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供干式真空泵的公司,有想法可以来我司咨询!
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。5)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
日本KASHIYAMA MU600P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:MU600P/H
MAX排气速度(L/min):10000
达到压力(Pa):0.5
电源电压:3相 AC200-220V
消费电力(KW):0.95KW
外型尺寸WHL [mm]:350×520×630
质量【kg】:130kg
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
MU600P/H主机一台,电压AC三相200V
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,有想法的可以来电咨询!
日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:SDE60N20
MAX排气速度(L/min):100000
达到压力(Pa):0.5
电源电压:3相 AC200-220V,380-480V
消费电力(KW):3.7KW
外型尺寸WHL [mm]:515×950×1080
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
SDE60N20主机一台
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:
1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。
2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。
3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。
4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供干式真空泵的公司,有想法的可以来电咨询!北京NEODRY 60E干式真空泵代理商
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日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:SDE20M12TX
MAX排气速度(L/min):30000
达到压力(Pa):0.5
电源电压:3相 AC200-220V,380-480V
外型尺寸WHL [mm]:460×960×900
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
SDE20M12TX主机一台
1